Máy tạo hơi nước tinh khiết là thiết bị sử dụng nước pha phun hoặc nước tinh khiết để tạo ra hơi nước tinh khiết. Phần chính là bể chứa nước lọc cấp độ. Bể làm nóng nước khử ion bằng hơi nước từ nồi hơi để tạo ra hơi nước có độ tinh khiết cao. Bộ sấy sơ bộ và thiết bị bay hơi của bể sử dụng ống thép không gỉ liền mạch chuyên sâu. Ngoài ra, có thể thu được hơi nước có độ tinh khiết cao với áp suất ngược và tốc độ dòng chảy khác nhau bằng cách điều chỉnh van đầu ra. Máy phát điện được áp dụng để khử trùng và có thể ngăn ngừa ô nhiễm thứ cấp một cách hiệu quả do kim loại nặng, nguồn nhiệt và các đống tạp chất khác.